삼성 최첨단 반도체 제조 장비 중국 유출

삼성전자 자회사 세메스의 산업스파이 행위

지난해 국가 핵심기술로 지정까지

연합뉴스/삼성 뉴스룸

SEMES/연합뉴스

삼성전자의 핵심기술 보안에 빨간불이 켜졌다. 지난 16일 삼성전자 자회사인 세메스가 보유한 반도체 신기술 ‘초임계 세정 장비’ 기술이 중국으로 유출된 것으로 드러났다.

2018년 세계 최초로 개발되어 삼성전자 반도체 부문에만 납품된 기술이 개발과 거의 동시에 기술 유출이 진행되어 문제이다.

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유출된 핵심 장치는 ‘초임계 세정 장비’로 액체도 기체도 아닌 초임계 이산화탄소를 이용해 반도체 기판을 세정하는 설비이다. 습식 세정이 아닌 건식 세정을 통해 기판의 손상을 최소화할 수 있어 반도체 분야 국가 핵심기술로 지정됐다.

초미세 반도체의 불량률을 줄이는 핵심 기술로 꼽히는 이 장비를 세메스는 삼성전자에만 납품해왔었다. 현재 삼성의 D램 메모리와 파운드리 등 최신 공정 전반에 투입되고 있다.

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장비의 기술 유출 과정에는 세메스 퇴직 연구원들과 함께 세메스의 협력사 관계자들도 가담한 것으로 알려졌다. 퇴직한 세메스 출신 직원들이 2018년 중국 소재 연구소와 접촉해 장비를 그대로 만들어줄 수 있다며 18억 원을 받아낸 것이다.

기술 유출 방법 또한 자연스러웠다. 세메스 협력사가 해당 장비의 부품을 만들어오면 세메스가 최종 조립해서 삼성전자에 납품하는 공정을 그대로 베끼는 방식으로 진행됐다

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철저한 보안으로 도면 및 핵심 인력 입수가 어려워지자, 중국 측에선 부품 협력사들과 접촉해 공정 전반을 복제하는 식의 수법을 동원한 것이다.

이후 중국과 합작회사를 설립한 뒤에 실제로 장비를 만들어 지금까지 총 800억 원의 부당이득을 챙긴 것으로 조사됐다.

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이번 사건을 계기로 삼성전자 내•외부 핵심 연구인력 관리 및 퇴직자 보안 강화와 함께 협력사 보안 문제가 재점화될 것으로 전망된다.

한편 검찰은 세메스 퇴직연구원 2명과 협력사 관계자 등 4명을 구속하고 배후 인물과 추가 가담자가 있는지 파악하는데 집중한다는 방침이다.