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<strong>D</strong><strong>램</strong> 커패시터용 High-K 전구체 소재가 하프늄으로 전환 중
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D 커패시터용 High-K 전구체 소재가 하프늄으로 전환 중
주목할 필요 © iStock 지르코늄 가고, 하프늄 왔다 D 커패시터용 High-K(하이케이, 고유 전율) 전구체 소재가 지르코늄(Zr)에서 하프늄(Hf)으로 본격 전환되고, 사용 비중도 지속적으로 높아지고 있습니다. 기존 1x, 1y 등 10나노 후반대 공정의 D에는 지르코늄(Zr)계 High-K 물질을 써 왔으나, 회로 ...