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日 수출규제 극복 ‘신호탄’… SK, 불화수소 가스 양산 시작
세계일보
日 수출규제 극복 ‘신호탄’… SK, 불화수소 가스 양산 시작
SK머티리얼즈는 최근 스핀온 카본(SOC·Spin-On-Carbon) 하드마스크와 불화아르곤 포토레지스트 개발에 나섰다. 반도체 웨이퍼 위에 포토레지스트를 바르고 노광 장비로 빛을 쏘면 빛의 노출에 반응해 화학적 성질이 변하면서 회로 패턴이 새겨진다. SOC는 포토레지스트 보조재로 패턴이 무너지지 않게 보호...